在實際測量時，每測量一個元素，系統都可以自動區分測球半徑的補償方向，計算正確的補償半徑。在采點開始后，測量軟件將在沿著測針接觸工件的方向上對測球進行半徑補償。但被補償點并非真正的接觸點，而是測頭沿著測針接觸工件方向的延長線上的一個點。這樣就造成了補償誤差，產生誤差的大小與測球的半徑及該工件被測面與笛卡爾坐標軸的夾角有關，夾角越大，誤差越大。
①測球半徑r對補償誤差的影響
補償誤差δ與測球半徑r成正比關系，即測球半徑r越小，補償誤差δ也越小。因此當用三坐標測量機進行點位測量時，應選用盡可能小的測球。
②測針軸線與被測表面法線間的夾角α對補償誤差的影響
當測針軸線與被測表面法線間的夾角α等于0時，測球半徑補償誤差δ也為0。因此，測量時要盡可能使測針軸線與被測表面垂直，使測頭沿著被測表面的法線方向移動，以*大限度地減小測球半徑補償誤差。
在用三坐標測量機測量點元素時，測量軟件在自動補償測球半徑過程中會出現測球半徑補償誤差。通過運用參考坐標系找正工件或用CNC模式進行測量，使測頭沿著被測表面的法線方向移動采集點的坐標，可以盡量減小測球半徑補償誤差，正確進行測球半徑補償，提高測量精度.
